真空マニピュレータは、特殊な真空チャンバ内でウェーハやアイテムを移動または位置決めしたり、マテリアルハンドリング用途に使用されます。剛性リンクが使用されていないため、柔軟性が向上します。一部の真空マニピュレータには、取り付けデバイスまたはエンドエフェクタが含まれています。他には、ロード ロックやウォブル スティックなどがあります。多くの場合、真空マニピュレーターは真空チャンバーと組み合わせて使用されます。ウェーハ ハンドラまたはロボットは、ウェーハまたは基板を PVD、CVD、プラズマ エッチング、またはその他の真空処理チャンバに出入りさせるための自動タイプの真空マニピュレータです。真空チャンバーを作成するには、真空モーターまたは真空内モーターが、所望の減圧に達するまで容器から空気を物理的に汲み上げます。真空チャンバー内が超高真空の場合は、超高真空マニピュレーターと超高真空モーターを使用する必要があります。
1. 吸盤のユニークなデザインにより、物体を自由に上昇または下降させることができますが、吸盤の固定シートの任意の方向に回転することもできるため、操作が便利で正確になります。リモコンの設計は操作の利便性をもたらし、ユーザーの安全を確保します。
2.真空吸引機のクランプは輸入された吸引プレートを採用しており、強力な吸着力、高い安全性、そして製品の損傷からの保護を備えています。
3.真空クレーンは、壊れやすく、持ち上げるのが難しく、表面が滑らかなアイテムを簡単に運ぶことができ、効率を向上させ、労働力を削減し、企業コストを節約します。